Курсовая работа. Разработка вакуумной схемы.

Курсовая работа по вакуумной технике. Разработка вакуумной схемы
СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1. Задание 3
2. Выбор и согласование вакуумных насосов и других элементов вакуумной системы 4
3. Описание выбранных элементов вакуумной схемы 5
3.1. Вакуумные насосы 7
3.1.1. Принцип действия и устройство паромасляного диффузионного насоса 7
3.1.2. Принцип действия и устройство пластинчато-роторного насоса 16
3.2. Ловушки 19
3.2.1 Адсорбционные ловушки 19
3.2.2 Азотные ловушки 21
3.3 Описание выбранных средств измерения вакуума 23
3.3.1. Электронные ионизационные вакуумметры 23
3.3.2. Тепловые вакуумметры 25
3.4 Клапан 26
3.4 .1 Клапан напускной КН-2,5 с электромагнитным приводом 26
3.4.2 Клапаны вакуумные с электромагнитным приводом типа КВМ 27
4. Порядок работы вакуумной системы 29
4.1 Порядок включения вакуумной системы 29
4.2 Порядок проведения технологического процесса 29
4.3 Порядок выключения вакуумной системы 30
Заключение 31
Список использованной литературы 32